VAT представил новейшие вакуумные затворы для полупроводниковой промышленности

15 Января 2013

Специалисты швейцарской компании VAT Vakuumventile AG представили свою новую продукцию – вакуумные затворы прямоугольного сечения для полупроводниковой промышленности.

Затвор серии 043 предназначен для создания тонких плёнок шириной 200, 300 и 450 мм в CVD-процессах, т.е. химических процессах, используемых для получения высокочистых твёрдых материалов. С помощью CVD-процессов производят материалы различных структур – монокристаллы и поликристаллы, такие как кремний, углеродное нановолокно, вольфрам, карбид и нитрид кремния, синтетические алмазы.

Новое изделие изготовлено из алюминия с применением в качестве уплотнения фторкаучука и имеет компактные размеры. В качестве уплотнительного устройства во избежание утечек агрессивной среды используется сильфон.

Затвор приводится в действие пневматическим приводом двойного действия, обеспечивающим плотное и надёжное закрытие затвора.

Уникальность новинки заключается в способности выдерживать более трёх миллионов рабочих циклов до первого обслуживания.

Справка:

Швейцарская фирма VAT более 45 лет производит вакуумную запорную и трубопроводную арматуру и на данный момент является ведущей компанией по производству цельнометаллических и лабораторных вакуумных клапанов и затворов. Предлагаются клапана с ручным, пневматическим, электромагнитным приводом и с регулируемой проводимостью, зависящей от давления в камере.

Цельнометаллические клапаны с металлическим уплотнением VATRING обеспечивают 100 000 циклов без замены уплотнения и могут прогреваться до 450 °С в открытом и закрытом состоянии.

Смотрите также:

А.С. Плешков. Пневматический распределитель для пневмопривода ТПА. Часть 2

Распределитель имеет основную пневматическую функцию – передавать воздух от входного пневматического порта на отходящие порты. С портами пневматического

На заводе «Нижнекамскнефтехим» произошла разгерметизация оборудования, вызвавшая...

Пресс-служба «Нижнекамскнефтехима» озвучила подробности происшествия, в результате которого погибли 2 человека, еще 20 – госпитализировали для лечения в стационаре.

ОМК получила премию имени И.П. Кулибина за разработку премиального резьбового...

Особенность резьбового соединения в том, что оно сохраняет прочность и герметичность в скважинах, пробуренных под углом и горизонтально

Последние добавления библиотеки(Предложить книгу)

Сборник статей Кима Миргаязова

Книга Олега Шпакова «Моя жизнь и арматура» жизнь автора от рождения...

Приведенные в книге результаты исследований позволили разработать р...

Прайс-листы ТПА

Труба сбт 89х9, 19 33шт Вес 6, 105
Ду 0 Ру 0
Цена: 40000 р.
смотреть далее...
Щитовой затвор 200х200 для для перекрытия потока воды в каналах и гидротехнических системах.
Ду 200 Ру 1
Цена: 140000 р.
смотреть далее...
DN80 корпус
Ду 80 Ру 37
Цена: 30000 р.
смотреть далее...

VAT представил новейшие вакуумные затворы для полупроводниковой промышленности

Портал трубоводной арматуры Armtorg.ru