VAT представил новейшие вакуумные затворы для полупроводниковой промышленности
15 Января 2013
Специалисты швейцарской компании VAT Vakuumventile AG представили свою новую продукцию – вакуумные затворы прямоугольного сечения для полупроводниковой промышленности.
Затвор серии 043 предназначен для создания тонких плёнок шириной 200, 300 и 450 мм в CVD-процессах, т.е. химических процессах, используемых для получения высокочистых твёрдых материалов. С помощью CVD-процессов производят материалы различных структур – монокристаллы и поликристаллы, такие как кремний, углеродное нановолокно, вольфрам, карбид и нитрид кремния, синтетические алмазы.
Новое изделие изготовлено из алюминия с применением в качестве уплотнения фторкаучука и имеет компактные размеры. В качестве уплотнительного устройства во избежание утечек агрессивной среды используется сильфон.
Затвор приводится в действие пневматическим приводом двойного действия, обеспечивающим плотное и надёжное закрытие затвора.
Уникальность новинки заключается в способности выдерживать более трёх миллионов рабочих циклов до первого обслуживания.
Справка:
Швейцарская фирма VAT более 45 лет производит вакуумную запорную и трубопроводную арматуру и на данный момент является ведущей компанией по производству цельнометаллических и лабораторных вакуумных клапанов и затворов. Предлагаются клапана с ручным, пневматическим, электромагнитным приводом и с регулируемой проводимостью, зависящей от давления в камере.
Цельнометаллические клапаны с металлическим уплотнением VATRING обеспечивают 100 000 циклов без замены уплотнения и могут прогреваться до 450 °С в открытом и закрытом состоянии.
С начала 2024 года АО «Томский завод электроприводов» изготовило 626 единиц основной продукции. Порядка 86 % от общего объема производства составили электроприводы различных типов.
АО «ЗЭО Энергопоток» отгрузило очередную партию трубопроводной арматуры для АЭС «Аккую». 17 апреля 2024 года с производственной площадки была осуществлена поставка: